產業痛點

  • 微污染如何影響濕製程？

  濕製程中若出現微汙染，最直觀的影響就是品質。雖然每道濕製程各不相同，但共通點便是「皆有溶液在其中扮演關鍵角色」，如CMP Slurry、化鍍藥水等。而這些關鍵溶液中若產生微汙染，輕微影響就是製程效率下降，導致製程品質或產量降低；嚴重的話則可能造成製程失效、溶液失效，導致製程品質異常或直接報廢。一言以蔽之：微汙染對於濕製程的影響，譬如星星之火，可以燎原。

  • 自動化監測設備的必要性&現況

  隨著自動化工業4.0在台灣穩定推進，自動化監測設備亦在台灣各大廠區陸續導入。除製程參數外，自動化監測濕製程品質也是一大重點。微粒子監控也漸漸從舊式取樣監控需求進化為即時線上監控，確保24小時都能掌握製程的穩定性。

  目前業界最常採用的自動化監測設備，以監控單一通道的溶液狀況為主。溶液的參數值通常顯示於機台上方，需有廠區現場操作員定期紀錄或確認是否產生異常，無法真正實現完全監控自動化，在此狀況下，便容易發生人為疏漏或錯誤。

邑流應用

  • 邑流微測自動化監測設備的優勢

  邑流微測自動化監測設備-多通道液體粒子檢測系統(MLPC)，不同於市面上微粒子監控系統，可作到線上多通道自動化即時檢測，一台機檯可對應整段製程進行多通道檢測、同時檢測不同樣品。

檢測過程所取得的數據可儲存於系統中，也可客製化與廠區數據庫進行對接傳輸。若機台檢測樣品出現異常，可直接即時反應、Alarm警示現場人員，也可客製化配合廠區系統做回饋。此一自動化監測設備已可完全自動化監測，在現場條件許可下，自動化監測設備在監控作業中甚至完全無需人力。

  • 淨零碳排中的關鍵作用

產線如能作到即時監控溶液狀況，進而即時反應，便能有效降低高階製程所帶來的能源耗損率。試舉一例：溶液中過多的粒子會造成良率下降，故在沒有監測的情況下，許多化鍍產業，每週都需更換槽體內的化學液，而這些化學液皆需經過回收處理，過度更換不僅花錢而且花能源。但透過自動化監測設備來監控液體中的顆粒，可有效判斷最佳更換時機、延長化學液使用週期。搭著淨零碳排的列車，許多終端客戶開始要求溶液中的粒子狀況應列為驗收標準的其中一項。

 

更多應用

SEM顯微鏡升級應用：原理與用途解析，液態材料檢測應用介紹

粒徑分析介紹：了解AI影像式粒徑分析設備，突破產業困境