2022/11/07
SEM影像專區
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解決方案
臨場電子顯微鏡觀測模組
利用獨家奈米薄膜技術在 SEM 真空環境下創造大氣腔體，達到保存液態樣本原始狀態之目的。
- 搭配 FlowVIEW Lite 分析軟體，快速分析實驗數據，如: 粒徑分佈、分散/團聚、濃度、形狀、成分組成…等數值
- 可依需求客製
SEM顯微鏡的原理&用途
SEM顯微鏡有別於光學顯微鏡利用可見光成像，SEM顯微鏡則是透過電子束掃描樣品表面，並透過接收電子與樣品交互作用產生的訊息而合成圖像。原則上，大多數固態樣品都能利用SEM顯微鏡進行觀察。由於SEM顯微鏡的樣品倉為真空狀態，因此SEM顯微鏡的樣品本身需要能承受真空環境。也因如此，在過去技術中，液態樣品需經過乾燥化前處理才能進行觀測。
SEM顯微鏡如何檢測液態材料？
SEM顯微鏡的操作環境是將觀察材料置入真空腔體中進行觀察，因此，要利用SEM顯微鏡觀察液態材料就必須受限於真空環境的影響。觀測前須先將液態材料進行乾燥化處理，但此步驟會造成液態材料結構坍塌失真。而邑流微測開發的SEM顯微鏡液態材料觀測系統，運用獨家奈米薄膜可於SEM的真空環境中創造大氣腔體將液態/揮發性材料完整的封閉其中，克服液體或有機材質產生的揮發性氣體，可能會外洩、汙染SEM顯微鏡真空腔體等問題，為液體材料帶來不同的觀測層面。此外，搭配高階影像分析工具，可快速取得尺寸分布、分散性、形狀等資料，有利於材料研發、製程改善、監控的依據。也因不需乾燥處理，故可即時(real-time)觀測液態奈米材料的反應過程，以最真實液態狀態的形貌呈現。以往液態材料內之粒子分布與分散性等特性，會因材料乾燥化而改變，導致無法觀察到液態材料之真實樣貌。而邑流微測創新的液態觀測系統，提供原始級、奈米級的影像，還可看出材料的分散或團聚。更重要的是，此一液態材料觀測系統沒有太多材料限制，且可根據客戶需求選擇不同晶片觀察樣品，更可搭配市面上絕大多數的SEM顯微鏡型號使用。
SEM顯微鏡液態材料應用實例
此液態材料觀測系統可即時觀測CMP Slurry、蝕刻化學品、去離子水、銀鋁膠、陶瓷材料等，可拍攝之材料範圍極廣，樣品不受太多限制。此外，除即時觀測液態材料原貌外，亦可透過客製化加溫、加電，臨場觀測電化學相關變化，如枝晶生長、充放電反應等。目前協助國內知名封裝廠進行高階車用晶片研發。