產業痛點

  • SEM顯微鏡的原理&用途

SEM顯微鏡有別於光學顯微鏡利用可見光成像,SEM顯微鏡則是透過電子束掃描樣品表面,並透過接收電子與樣品交互作用產生的訊息而合成圖像。原則上,大多數固態樣品都能利用SEM顯微鏡進行觀察。由於SEM顯微鏡的樣品倉為真空狀態,因此SEM顯微鏡的樣品本身需要能承受真空環境。也因如此,在過去技術中,液態樣品需經過乾燥化前處理才能進行觀測。

液態材料於SEM顯微鏡底下失真 液態材料於SEM顯微鏡底下原始狀態

 

邑流應用

  • SEM顯微鏡如何檢測液態材料?

SEM顯微鏡的操作環境是將觀察材料置入真空腔體中進行觀察,因此,要利用SEM顯微鏡觀察液態材料就必須受限於真空環境的影響。觀測前須先將液態材料進行乾燥化處理,但此步驟會造成液態材料結構坍塌失真。而邑流微測開發的SEM顯微鏡液態材料觀測模組,運用獨家奈米薄膜可於SEM的真空環境中創造大氣腔體將液態/揮發性材料完整的封閉其中,克服液體或有機材質產生的揮發性氣體,可能會外洩、汙染SEM顯微鏡真空腔體等問題,為液體材料帶來不同的觀測層面。此外,搭配高階影像分析工具,可快速取得尺寸分布、分散性、形狀等資料,有利於材料研發、製程改善、監控的依據。也因不需乾燥處理,故可即時(real-time)觀測液態奈米材料的反應過程,以最真實液態狀態的形貌呈現。以往液態材料內之粒子分布與分散性等特性,會因材料乾燥化而改變,導致無法觀察到液態材料之真實樣貌。而邑流微測創新的觀測系統,提供原始級、奈米級的影像,還可看出材料的分散或團聚。更重要的是,此一液態材料觀測系統沒有太多材料限制,且可根據客戶需求選擇不同晶片觀察樣品。

 

 

 

  • SEM顯微鏡液態材料應用實例

邑流微測的液態材料觀測系統,可拍攝之材料範圍極廣,樣品不受太多限制。可即時觀測CMP Slurry、蝕刻化學品、去離子水、銀鋁膠、陶瓷材料等。此外,除即時觀測液態材料原貌外,亦可透過客製化加溫、加電,臨場觀測材料變化,如目前協助國內知名封裝廠進行高階車用晶片研發。

 

銀膠 銀耳菌
CMP Slurry 類DNA材料