SEM影像專區
利用獨家奈米薄膜技術在 SEM 真空環境下創造大氣腔體,達到保存液態樣本原始狀態之目的。
SEM顯微鏡過去多用於檢測固態樣品,但在半導體上百道製程,亦或是PCB面板、LED晶片等電子產品製程,都可能使用到銀膠、研磨液、油墨等液態材料,如果這些液態材料產生缺陷,便會影響整體產品良率,但針對液態物質該如何進行分析才能達到最好之效果?
文章來源:iST宜特
一般而言,SEM可檢測的樣品多為固態。若遇到需檢測之樣品為液態或懷疑Defect來自製程中的液態物質,該如何分析?
液態樣品需抽真空,只能侷限在固態
抽真空後,液態樣品結構坍塌,導致結果失真
液態/流質樣品容易造成解析度不佳
液態/揮發性樣品可能造成腔體汙染