產業痛點

製程檢驗影響了整體製程品質,絕對是提升半導體良率的重要關鍵。過去通常都於成品完成後才進行品質檢驗,但此時已浪費了許多製造以及原物料資源,更遑論過程中耗費的人力與時間成本。隨著製程日益複雜,製程中的DI Wter、顯影劑、CMP Slurry等液體漿料,裡面若出現微汙染都會影響到製程品質。加上終端客戶要求日趨嚴格,如何建置濕製程中的品質驗證,避免被客戶highlight?我們一起往下找解方。

  • 何謂製程品質檢驗?

製程檢驗整合專業技術和管理技術,針對生產流程包括進料檢驗、製程檢驗、出貨檢驗或測試各作業階段中所製造出來的產品品質,確保成品滿足客戶所需的品質要求(如適用性、安全性等)。製程的「品質」基本上被定義為,衡量系統於生產過程中針對成品與品質規範標準的比對結果。常見以「良率」來表示,符合規格的產品就意謂好的品質,此處品質泛指生產原物料、製造半成品、完成品乃至於客戶服務,衡量標準以與客戶協商後的規格要求為準。

邑流應用

  • 製程檢驗如何於濕製程中進行?

大部分製程檢驗都會在產品生產前進行品質驗證,確保生產品質的可靠度。但製程的進行過程,仍存在著異常的風險,尤其是濕製程中使用的化學溶劑,最易產生變化導致品質受影響。在客戶端常見濕製程中的材料或藥水產生質變、水質潔淨度降低......等。隨著產品精密程度不斷突破,客戶對於品質要求更加重視且嚴格,故製程中各項細節生產品質,逐漸被需求,產品檢驗由分析實驗室轉移到濕製程中進行檢驗,透過持續性監控規格數值,保證生產中的品質符合需求。這些製程檢驗包括:製程中溶液溫度、pH值、導電度、濃度、微粒子數量、離子濃度等。FlowVIEW 推出專門執行濕製程監控解決方案,以液體微粒子檢測為例,會有別於市售常用的液體微粒子檢測機台,僅能單通道進行檢測,邑流微測可作到同時執行線上多點位自動化監控,連結製程中的警訊與數據傳輸,再依據產線需求客製化加入pH值、導電度值、濃度等溶液監控項目,完善濕製程中的品質監控系統,第一階段協助確保製程品質與良率,並且進進一步協助建置製程品質履歷,每段製程皆清晰明瞭,做到預防勝於治療。

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  • 製程檢驗自動化&影像化

FlowVIEW 的濕製程監控解決方案,滿足自動化檢測並多點位切換,生產中微粒子數量超出設定值自動化預警,且可自動連結廠內數據庫,達到自動化傳輸數據、智慧製程檢驗之目的。此外,過去傳統訊號式的粒子檢測,常會遇到粒子間訊號互相干擾,導致數據結果與預期中不同、數據不可靠,卻無法進一步探討原因之情形。而AI影像式粒子分析技術可藉由高階AI影像辨識技術,正確分辨出汙染物是結晶、粉塵或毛絮,進而排除特定的幾個可能汙染源。非常適合應用在濕製程微汙染檢測。

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