產品介紹
邑流微測獨家開發出高階自動化分析軟體,操作簡易容易上手,快速得到準確實驗結果。
可藉由分析軟體產出之數據,協助研發與產線進行科學化的決策判斷 :


可藉由影像搭配軟體分辨過大或過小之顆粒。
可藉由分析軟體產出之數據,協助研發與產線進行科學化的決策判斷 :
- 分散性/成分分析:用於配方檢查
- 團聚性:用於缺陷預測、製程錯誤警示
- 形狀分布:用於耗材耐用性判斷




FlowVIEW Lite應用1- SiO2 slurry粒徑偵測
- 依照客戶需求,客製化設定軟體之尺寸上下限,篩選出過大或過小的顆粒。
- 以此兩支產品為例,尺寸上下限皆設為約25-60 nm左右。上圖可篩出約為40 nm之顆粒,而下圖篩出為55 nm。
- 提供之參數可做為耗材耐用性判斷依據,亦適用於製程前缺陷預測與製程之錯誤警示。


可藉由影像搭配軟體分辨過大或過小之顆粒。
FlowVIEW Lite應用2- SiO2 slurry粒徑偵測

使用原有乾式檢測,SiO2樣品無可避免產生團聚,尺寸及分散性均無法被定義。圖2-2及圖2-3使用FVT檢測方案,於200K的倍率下清楚拍攝出低原子序樣品之液態影像,即使樣品尺寸懸殊亦可清楚分辨。 ,臨場觀測液體原貌,無稀釋。

小顆粒的尺寸分佈於 7-25 nm間,大顆粒的尺寸分佈約為82-98 nm。將大小顆粒分開統計獲得各自之分散性及團聚性量化數據,可知:
1) 小顆粒之分散性及團聚性均劣於大顆粒。
2) 大顆粒較接近正圓。
1) 小顆粒之分散性及團聚性均劣於大顆粒。
2) 大顆粒較接近正圓。

為了增加統計取樣率、提高準確性,故小顆粒選擇200k倍率、大顆粒選擇100k之倍率進行分析。即使樣品尺寸懸殊亦可即時分析,適用於判斷耐用性的循環漿料分析。