邑流微測獨家開發出高階自動化分析軟體，操作簡易容易上手，快速得到準確實驗結果。
可藉由分析軟體產出之數據，協助研發與產線進行科學化的決策判斷 ：
  • 分散性/成分分析：用於配方檢查
  • 團聚性：用於缺陷預測、製程錯誤警示
  • 形狀分布：用於耗材耐用性判斷
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FlowVIEW Lite應用1- SiO2 slurry粒徑偵測 

 
  • 依照客戶需求，客製化設定軟體之尺寸上下限，篩選出過大或過小的顆粒。
  • 以此兩支產品為例，尺寸上下限皆設為約25-60 nm左右。上圖可篩出約為40 nm之顆粒，而下圖篩出為55 nm。
  • 提供之參數可做為耗材耐用性判斷依據，亦適用於製程前缺陷預測與製程之錯誤警示。



可藉由影像搭配軟體分辨過大或過小之顆粒。
 

FlowVIEW Lite應用2- SiO2 slurry粒徑偵測 

使用原有乾式檢測，SiO2樣品無可避免產生團聚，尺寸及分散性均無法被定義。圖2-2及圖2-3使用FVT檢測方案，於200K的倍率下清楚拍攝出低原子序樣品之液態影像，即使樣品尺寸懸殊亦可清楚分辨。 ，臨場觀測液體原貌，無稀釋。
 
小顆粒的尺寸分佈於 7-25 nm間，大顆粒的尺寸分佈約為82-98 nm。將大小顆粒分開統計獲得各自之分散性及團聚性量化數據，可知：
1) 小顆粒之分散性及團聚性均劣於大顆粒。

2) 大顆粒較接近正圓。
 
為了增加統計取樣率、提高準確性，故小顆粒選擇200k倍率、大顆粒選擇100k之倍率進行分析。即使樣品尺寸懸殊亦可即時分析，適用於判斷耐用性的循環漿料分析。