線上多通道液體粒子檢測系統
20nm-100μm
系統中可執行已設定完成的Recipe。Recipe的設定可依檢測需求，設定檢測液體、檢測時間、檢測順序等，可自由安排。
機台配置有Alarm功能，可提供訊號與機台連動，需客製化配合機台。
該系統擁有多通道(9個)可以線上檢測多種液體，且可以執行自動化檢測，無需人員手動檢測節省人力，並且擁有自動警示功能。
台灣知名封裝廠、面板廠以及PCB廠皆有導入。
DI water、顯影劑、混酸去光阻液、銅/鋁酸、KOH溶液.......等
有，15˚C~70˚C
該系統於線上使用需求CDA 0.7Mpa，廠務DIW 0.3Mpa，槽體壓力承受最大限制5kgw。距離標準為長7M、高2M，如有需求需客製化討論。
