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濕製程微汙染監控：清洗製程

濕製程微汙染監控：清洗製程

半導體應用品質與良率，一直是台灣半導體與製造業者最重視的課題。尤其在半導體零件的清洗製程中，去離子水的潔淨度對產品良率有著關鍵性的影響。然而，目前的技術仍難以實現對多點位濕製程材料的即時與現場監測。