目前業界常使用SEM電子顯微鏡進行樣品表面形貌的檢測。然而，此種方式需受限於SEM真空系統，液態材料的瑕疵檢測往往需先進行乾燥化前處理，但液態樣品經過烘烤後形貌結構皆已失真，檢測結果無法呈現樣品的真實性。再者，液態或揮發性材料可能造成SEM污染，因此，以往要使用 SEM進行液態材料瑕疵檢測，具有一定難度和侷限性。

COVID-19爆發至今，抗菌產品持續熱銷，除了有效性、穩定性以外，凡遇纖維布、不織布等織物類產品，如何提供抗菌塗層的耐洗性，亦是相關產業不間斷改善與優化的研發目標。客戶欲了解混入纖維布的奈米複合抗菌塗料，經過水洗前後是否會產生變化，藉此掌握更多該款塗料特性。如使用傳統材料缺陷分析方法，會受限於電子顯微鏡的真空特性，導致結果失真。

新型的液態材料缺陷分析，以封閉式的晶片系統在SEM的真空環境中創造大氣腔體，可保存液態材料真實結構，呈現原始級影像，搭配專用軟體進行分析，即可得到尺寸、形狀分布、分散性等數據，作為材料研發、配方改善依據。客戶過去無法確切掌握液體材料真實狀況，但透過邑流微測的液態材料檢測技術，觀測到自家塗層材料不論是否經過水洗，塗料都還是能夠有效附著在纖維布上，保有抗菌效果，驗證了此配方之適用性。

抗菌塗料於SEM下的真實影像(1um)	抗菌塗料於SEM下的真實影像(500nm)

也因為突破原有電子顯微鏡限制，邑流微測之檢測方案也非常適合應用在各式濕式以及液態樣品檢測，例如：CMP Slurry、導熱膠等。

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