SEM IMAGE SECTION

Upgraded applications of SEM ：liquid material detection applications.

SEM顯微鏡過去多用於檢測固態樣品，但在半導體上百道製程，亦或是PCB面板、LED晶片等電子產品製程，都可能使用到銀膠、研磨液、油墨等液態材料，如果這些液態材料產生缺陷，便會影響整體產品良率，但針對液態物質該如何進行分析才能達到最好之效果？

文章來源：iST宜特

一般而言，SEM可檢測的樣品多為固態。若遇到需檢測之樣品為液態或懷疑Defect來自製程中的液態物質，該如何分析？