液態載台|濕式載台
關於我們

應用原理

主要著重在兩大核心技術(包含MEMS & Microfluidics、Microflow control)進行產品的開發並取得自有技術之專利,情形說明如下:

1. MEMS & Microfluidics:

<p利用半導體製程製作並搭配表面處理,可針對不同濕式樣品提供親疏水與linker之樣品適應性薄膜,使待檢測樣品可以自動貼覆至觀測視窗,以取得最佳影像解析度。同時藉由此奈米薄膜隔絕真空與大氣環境,解決液態樣品無法於電子束設備的真空環境下進行檢測的限制,因此可將流體傳輸至電子束設備之真空腔體內,使之優於光學繞射極限,並能於微小尺度下(解析度可達10 nm等級)。

Microflow control:

結合微流道(Microfluidics)與精密探針(Pogo pin)設計,可針對檢測微環境進行監控,同時針對微流場進行CFD (Computational Fluid Dynamics)模擬,以達成樣品最佳的輸送模式。另外透過流體緩衝設計,將高穩定、低脈動的微流體輸入具備奈米薄膜的檢測區,大幅降低通入流體時奈米薄膜承受的應力與脈動,使得可以於高真空下連續不間斷的進行即時影像的拍攝,同時依據不同檢測應用動態調整流量、溫控以及輸送程序(連續流動、間歇流動、往復流動),以進行樣品輸送、混合與管線清洗,大幅提升分析效率。

其他說明:

獨家專利

研發團隊運用MEMS & Microfluidics以及Microflow control兩大核心技術,進行產品的開發,並取得多國之專利。

 

In-situ Wet Image

Shuttle Application (Image of OM)