降低台積電瑕疵光阻液類似風險,宜特科技推液態材料缺陷檢測

March 05, 2019

降低台積電瑕疵光阻液類似風險,宜特科技推液態材料缺陷檢測

1 月底,晶圓代工龍頭台積電位於南科的 14B 廠發生了因為使用不合規定的光阻液,造成大量晶圓瑕疵而報廢的事件,使得台積電因此損失了新台幣數十億元,並且進一步調降 2019 年第 1 季的財測,造成市場極大的震撼,這也讓許多企業了解,針對液態材料缺陷檢測的重要性。對此,國內電子檢測驗證大廠宜特科技就推出了液態材料缺陷檢測服務,以因應目前市場上的相關需求。

宜特科技表示,由於半導體多道製程中,包括晶圓生產的黃光蝕刻、薄膜等製程中,或是其他太陽能、LED 晶片等電子產品的製造過程,都有機會因使用到不合規定的液體或揮發性材料而造成缺陷的問題。因此,宜特科技宣布推出液態材料缺陷檢測服務,將有助於相關業者分析液態材質缺陷。

宜特科技指出,針對一般樣品,宜特科技會使用掃描式電子顯微鏡 SEM (Scanning Electron Microscope) 進行樣品表面形貌的檢測。然而,樣品必須於真空系統下作業,並且樣品侷限在固體。至於,對於液態或揮發性材料,由於此類樣品會影響電子顯微鏡的真空度,並可能造成腔體污染,因此以往若要使用 SEM 的方式進行檢測,具有難度。

為解決這樣的難題,一般方式通常會將液態或揮發性材料烘烤後,變成固態,再將固態樣品利用 SEM 進行檢測。然而,往往經過烘烤後的樣品形貌均可能已失真,例如液態材料內之粒子 (Particle) 分布與分散性,這些特性於材料經烘烤後均已改變,其檢測結果便無法達到其真實性,因此宜特科技特別引進液態材料專用的 SEM 載台,以解決此問題。

宜特科技進一步指出,新式的 SEM 液態載台是封閉式結構,可以將液態或揮發性材料封閉其中,故可避免影響 SEM 的真空度與真空系統污染等問題。此外,SEM 電子顯微鏡透過載台表面厚度僅數十奈米之氮化矽 SiN 薄膜,仍可以激發出液態樣品表面之二次電子或背向電子,藉此可以順利成像。

最後,若搭配 EDS 工具 (Energy Dispersive Spectroscopy) 檢測,即可進行成份分析。除此之外,SEM 影像可透過專用軟體進行分析,即可得到尺寸分布、分散性、形狀分佈等數據資料,以做為材料研發或製程改善、監控的依據。而透過這樣的檢測做法,將可以降低企業採用到不合格液體或揮發性材料的風險,避免企業的生產損失。