2017年成立的新創「邑流微測」,顯微流體觀測技術領先全球。流體自動光學檢測(Flow AOI)技術方案,讓邑流微測成為全球唯一能供高解析度液態樣品奈米檢測的供應商。

邑流微測產品及專案經理李正宇表示,半導體產業過去在液態材料的監測,因受限濕製程檢驗技術難突破,所以退而求其次將濕式材料烘烤後變成固態再觀測。但是,烘烤後的材料已產生團聚、變質,觀測的數據結果已非原位形態的樣本。針對產業痛點,邑流微測運用獨家開發的AI影像分析軟體,突破液態檢測的困境。自主研發液態SEM載台及微奈米級漿料分析技術,針對漿料成分進行尺寸、團聚分析。

換言之,高解析度影像能顯示液體內的微奈米粒子其原始分布狀態,在監測30秒後搭配其研發的AI人工智慧分析軟體,可提供快速準確的數據分析,有效提高半導體的製程效率,並減少原料浪費。這項液態檢測技術,未來也將搭著台積電3奈米先進製程,創造濕製程檢測商機。李正宇最後表示,這項流體智慧自動光學解測(Flow AOI)解決方案,能快速讓影像轉換成數據,建立液態檢測資料庫,進一步提供不同成分提供客製化解決方案。可望幫助產業提升良率、節省時間人力,並提升製程品質。

目前邑流微測技術取得台灣、中國大陸、日本、及美國等國家專利申請。他們持續針對微熱流控制、電子束檢測、半導體檢測、生醫光學檢測與能源材料分析領域,展現台灣新創技術實力。